窒化ホウ素（BN：Boron Nitride）は、高温環境でも安定して使える優れた電気絶縁性を持つ高機能セラミックスで、炉内治具の材料として最近とても注目されています。
セラミックスの焼成炉や半導体製造用の熱処理炉など、高温で清潔な環境が必要な装置で、部材を支えるセッターや治具として大きな役割を果たします。
BNの魅力の一つは、高温での優れた耐熱性です。
不活性雰囲気なら約2,200℃、真空でも約1,900℃くらいまで使える種類もあり、高温運転が欠かせない炉の内部部品にぴったりです。
また、急激な温度変化にも比較的強いので、素早い加熱や冷却を伴う作業でも割れや欠けが起きにくく、治具の長持ちに役立ちます。
電気の面では、高温でもしっかり絶縁性を保てる点が強みです。
ヒーターや電極の近くで使う絶縁ブロックや、ウェハー・基板を支える支持治具としてお使いいただくと、電気の漏れを防ぎ、安全で安定した作業を実現します。
さらに、多くの金属やセラミックスとくっつきにくく反応もしにくいため、加工対象物への汚れを最小限に抑えたい場面に適しています。
BNは加工しやすく、セッター、トレー、スペーサー、支持台、リング、るつぼなど、お客様の用途に合わせたさまざまな形に仕上げられます。
高純度タイプは半導体や光学部品向けの清潔作業に、複合材タイプは強度が必要な支持部材や溶接治具などに使い分けられます。
作業条件に応じて純粋なBN、複合BNなどから最適な種類を選べば、性能とコストのバランスも良くなります。
当社では、自社製BN材料を使った炉内治具の設計・製作はもちろん、海外メーカー製のBN材や関連の高機能セラミックスも取り扱っています。
国産・海外材のそれぞれの良さを活かし、お客様の用途・予算・納期に合わせて最適な仕様をご提案いたします。
高温炉や焼成治具の見直し・導入をお考えでしたら、どうぞお気軽にご相談ください。